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<特集> 段差計測(Vol.57,No.1)

計測標準と計量管理 2007 Vol.57,No.1

<特集> 段差計測

@表面トポグラフィと微小段差
 財団法人 日本品質保証機構  黒澤 富蔵

A顕微干渉計による微小段差校正とその応用
 独立行政法人 産業技術総合研究所  土井 琢磨

B測長原子間力顕微鏡を用いた段差校正
 独立行政法人 産業技術総合研究所  
  三隅 伊知子、佐藤 理
  菅原 健太郎、権太 聡

C触針式表面粗さ測定機による段差・深さ標準片の校正
 独立行政法人 産業技術総合研究所  直井 一也

D光干渉法による微小段差計測の現状と展望
 東レエンジニアリング株式会社  北川 克一

EAFM高さ校正用標準試料及び段差スケール
 NTTアドバンステクノロジ株式会社  高野 明雄、黒澤 賢
 NTT−ATナノファブリケーション株式会社  栗原 健二


<小特集> 不確かさ

@化学分析における不確かさ評価の現状
 財団法人 化学物質評価研究機構  四角目 和広

A不確かさ関連JISの制定
 独立行政法人 産業技術総合研究所 小池 昌義

B不確かさを加味した型式承認および検定についての研究
 独立行政法人 産業技術総合研究所 森中 泰章

産業技術総合研究所計量標準総合センターの認証標準物質
 独立行政法人 産業技術総合研究所  三浦 勉

地方独立行政法人東京都立産業技術研究センターの計測管理の取り組み
 地方独立行政法人 東京都立産業技術研究センター 水野 裕正

IAJapanコーナー
 独立行政法人 製品評価技術基盤機構

編集後記


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