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半導体テクノロジーのトレンド―微細化から等価的微細化と多様化へ(2/1号)
平成 20年 2月 1日号
今回の特集は
半導体テクノロジーのトレンド―微細化から等価的微細化と多様化へ
石井威望のコメント
20世紀の先端技術で経済的にも大成功を収めたのは半導体集積回路、特に極めて集積度が高いLSIである。その技術開発の基本戦略は1947年に発明されたトランジスタの徹底的な微細化であり、文字どおり倍々ゲームの高集積化によって、高性能化、小型化、低電力消費化、高信頼性化をことごとく達成した結果である。
しかし、21世紀にはその限界に近づいており、加えてこの分野の技術者確保も国内では困難になりつつある。かつての半導体王国日本にとって今昔の感であるが、21世紀の戦略的先端技術であるナノテクノロジーと密接なだけに等閑にできない。今回の執筆者は、早稲田大学先端科学・健康医療融合研究機構の品田賢宏准教授である。
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ポイント
1.ムーアの法則以来、微細化技術によって半導体産業は巨大な発展
1965年に半導体微細化技術にかんするムーア博士の法則が見出され、それが産業の発展を牽引してきた。微細化は、LSIの機能当たりのコスト低減のみならず、高性能化、高密度化、低消費電力化に寄与し、たとえばディジタル機器のモバイル化、パーソナル化など、半導体の応用範囲を大きく広げてきた。この40年間の半導体市場の拡大は500倍にも達し、今後も経済発展の中核を担い続けていくだろう。
2.等価的微細化のモア・ムーアと多様化のモア・ザン・ムーア
トランジスタの単なる微細化では、LSIの高性能化に限界があり、そこで高誘電率ゲート絶縁膜/金属ゲート積層技術、金属ソース/ドレイン、歪みチャネル、マルチゲート、サラウンディングゲートなどの等価的微細化と呼ばれる技術がモア・ムーアのコンセプトとして浸透しつつある。それに対し、多様化、すなわちマイクロセンサーやバイオチップなどエレクトロニクス応用にとどまらない新しい価値創造としてモア・ザン・ムーアも提唱されている。両戦略の選択に際しては、「とにかく作る」から「社会のために作る」への転換をよく見定める必要がある。
3.研究対象としての「人」、そして次世代産業を支える「人」
モア・ムーアからモア・ザン・ムーアへという潮流の中で今後は、研究され尽くされた感のある半導体から「人」へ、すなわち半導体技術のバイオメディカル応用へのシフトが起こるであろう。しかしその一方で、次世代半導体産業を支える若い「人」の確保も急務である。
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