テクノカレント テクノカレントは、世界の重要な新技術の動向を平易に解説する情報誌です。新しい科学技術がこれからの社会や企業にとってどのような役割を果たしていくかを、企業経営者や研究者に分かりやすく解説します。編集・主筆は石井威望東京大学名誉教授。氏のナビゲートにより、文部科学省、経済産業省、各種試験研究機関、ジェトロなどの公的機関や民間研究機関などからの情報に加え、各技術分野のトップクラスの頭脳による支援体制のもと、的確にお伝えします。1989年1月の創刊以来、ほぼ400号の実績を持つテクノカレントのテーマは、基礎技術、新素材、資源・エネルギー、情報、生命、宇宙、工学、環境、政策など、多分野にわたっています。21世紀の知的ナビゲーション・マップとして、ぜひご活用ください。 　 　 発　　　行： 財団法人 世界経済情報サービス 平成20年1月31日付で、経済産業大臣の解散許可を得て、解散しました。 発行回数： 毎月2回発行 定期購読： 1年間60,000円。6ヶ月30,000円。1冊2,500円。

ナノテクノロジーの進歩と半導体集積回路技術 （7/15号）

平成１８年　７月　１５日号

今回の特集は
ナノテクノロジーの進歩と半導体集積回路技術

石井威望のコメント

物事に底在する秩序が見えるときがある。メンデレーフの元素の周期律表の発見（1869年）は、その好例である。これによって既知の元素の整理ができるようになったばかりでなく、未知の元素発見への手がかりができた。
　今日、同様な秩序の発見の一つとして、量子力学的宇宙観がある。それに対応する複雑なネットワーク（例えばインターネット）に底在する量子力学的秩序の探索が始まっている。その強力なツールになっているのが、ナノテクノロジーであり、情報システム素子としての半導体の開発である。今回は、ナノテクノロジーの最前線が述べられている。執筆者は、ＡＳＥＴ・ＥＵＶプロセス技術研究部の岡崎信次部長である。

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ポイント

1. 10億分の１メートルの世界で人工的な加工が可能に
　１ナノメートルとは、１メートルの10の９乗分の１、すなわち10億分の１の長さで、原子や分子の大きさを測るのに適した寸法領域である。近年、ナノテクノロジーでは、自然な構造に従うのではなく、人工的に加工を行うことが可能になり、具体的にはボトムアップ方式、トップダウン方式、微小電気機械素子の応用など、ＳＦの世界を実現できるような技術が試みられている。

2. 解像度向上のため、露光波長とともに液浸技術の試みも
　半導体集積回路の高集積化は縮小投影型の露光装置の開発に始まるが、その解像度は露光波長に比例し、光学系の開口数に反比例する。露光波長の方向では、短波長化、高ＮＡ化、レジスト材料の高コントラスト化に加え、様々な技術向上により、解像度が100nm以下にまでなったが、従来のレンズ材料が使えなくなるという問題があり、そこで屈折率の高い液浸材料を用いたり、光学系材料そのものを高屈折化したりする液浸露光技術による解像度向上の試みもなされている。

　
3. 開発コスト高額化への対応で、コンソーシアムや共同開発計画も
　露光波長を短くする方向ではＥＵＶリソグラフィ技術も有力であるが、光源、反射型の照明光学系、投射光学系、反射型マスク、真空中での装置機構系などの技術課題がある。なお近年、技術の開発コストが高額化した関係で、メーカーがコンソーシアムを形成したり、共同開発計画に参加したりするケースが増えている。

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